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昨日コバルトを蒸着(ギャバンではない)しておいた基板のリフトオフを行った。蒸着装置の較正用なので、コバルトはいつもより多めの100nm積んでおいた。

いつも通り、2-ブタノンに付けただけではキレイに剥がれないので、超音波洗浄器に30秒かけた。取り出してみると...な、無い。基板上にコバルトのパターンが無い。 蒸着したコバルトが、キレイサッパリ消えていた。 フォトリソの現像が甘く、レジストが残っていたのではないかと考えられる。

現像はキッチリ行わないとダメだということが分かった。

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テーマ:理系学生の研究生活
ジャンル:学校・教育
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