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日頃の行いが悪いせいか、電子線(EB)リソグラフィによるパターンの作製にことごとく失敗した。 電極ギャップと電極パッドとの位置合わせが、全て同じ方向にずれていた。どうもEBの軸がずれていたようだ。

軸調整後、再度リソグラフィしてみたところ、なんとかギャップができていた。相変わらずずれていることには変わりないけど。数μmずれるのは大きすぎだと思うんだけど。

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