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リソグラフィーで電極パターンを作ると、どうも電極端部分が厚くなっている。自分の研究において、この状況はまずい。 機械研磨で厚くなってる部分を削るという方法もあるんだろうけど、面倒そう。

LOL2000による2層レジストだと、楽にこの問題を解決できそう。 サブミクロンのギャップが難しいという、別の問題が発生するかも知れないけど...

参考になりそうなページをメモっとこう。

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テーマ:大学生日記
ジャンル:日記
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