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原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope: AFM)を使ってリソグラフィをする話。 AFMチップを温めることによって、各種レジストポリマーを熱し、ポリマーを変性させている。

High-Speed, Sub-15 nm Feature Size Thermochemical Nanolithography

真空に引けるAFMと高温まで耐えられるAFMチップがあればゴニョゴニョ...

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